精密制造有了“定制化”地震預警
陝西西安高新區,三星(中國)半導體有限公司廠區周邊,有一棟灰色小屋。“這是高靈敏的地震監測站點,這裡採集的數據能夠為廠區提供精細的地震預警信息和震動觀測服務。”陝西省地震局高級工程師趙韜說。
對半導體生產來說,精細的地震預警服務能夠保障生產穩定運行。以半導體為代表的高精密制造產業,生產設備精密、生產流程復雜,對地表震動極其敏感,對地震安全處置要求特殊、嚴格。
10多年前,三星(中國)半導體有限公司在西安建廠,防范地震風險就是重要考慮因素之一。“我們對廠房進行了減隔震設計,生產設備本身也有減震裝置,有效過濾了噪聲震動對生產的影響。然而,仍有些遠場大震對設備正常運行產生影響。”三星(中國)半導體有限公司防災部部長宋英華說。
中國地震局工程力學研究所研究員曲哲介紹,保障精密生產使用的大尺度隔震槽、氣墊等隔震裝置,雖然能有效應對一些較小的高頻震動,但難以應對遠場大震長周期面波的影響,“這種地震波衰減慢、頻率低,人幾乎察覺不到,卻對精密制造影響不小。”
了解到精密生產的痛點后,陝西省地震局與三星(中國)半導體有限公司深入對接,為企業提供了基於微震動指標的定制化地震預警。“我們這個預警信息能對影響高精密生產的微小地震及時反應,在地震波抵達廠區前告知企業可能的影響等級。”趙韜說。
要進一步應對長周期面波,必須搞明白其周期、振幅大小等參數,從而精確劃分地震預警等級。2022—2023年,陝西省地震局在三星(中國)半導體有限公司廠區周邊,建設了由3個地震監測站點組成的專用台網。台網綜合了加速度、速度觀測,採用無線網絡實時回傳至陝西地震預警中心。基於該台網的地震觀測數據,陝西省地震局與中國地震局工程力學研究所合作開展深入分析,明確了影響精密制造的地震動特征。上述信息也進一步幫助企業持續優化調整生產設備地震動響應閾值,提升產線生產的穩定性。
“精細化地震預警信息為精密制造產業應對地震風險的決策提供了科學參考。”趙韜介紹,通過捕獲、分析多次對精密生產企業造成影響的地震事件波形,還能快速評估地震波對生產的影響等級,幫助企業快速恢復生產。
陝西省地震局黨組成員、副局長楊峰介紹,針對高精密生產企業的地震安全處置服務標准仍存在空白。為了幫助更多精密生產企業更加從容、有序應對地震,陝西省地震局總結服務經驗,牽頭編制了《高精密生產企業地震緊急處置服務技術指南》。精密制造是西安市支柱產業之一,除三星(中國)半導體有限公司外,西安奕斯偉硅片技術有限公司、龍騰半導體股份有限公司等精密生產企業也引入了定制化的地震預警服務。
保障精密生產是國家地震預警工程的眾多行業應用場景之一。2024年7月,該工程順利通過驗收,標志著我國建成全球最大規模的地震預警網。為充分發揮地震預警網的減災潛力,地震部門持續推動地震預警服務經濟高質量發展。該工程已經在交通、水利、電力等重大戰略基礎設施和生命線工程得到應用。
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